多用于一些精密零件。五。四氟化碳四氟化碳是等离子处理中使用的典型腐蚀性气体。四氟化碳电离等离子体中含有氢氟酸，西卡超薄型防火涂料附着力会影响有机材料的表面。蚀刻和有机物去除，等离子清洁剂使用更多的四氟化碳。晶圆的纳米级蚀刻和光刻去除、去除电路板中的微孔以及制造太阳能电池板。。
不同的气体等离子体具有不同的化学性质。例如，西卡超薄型防火涂料附着力氧等离子体具有很高的氧化性能，可以氧化光刻胶产生蒸汽，因此具有清洗作用。腐蚀性气体等离子体具有良好的各向异性，可以满足腐蚀的需要。在等离子清洗机的过程中，称为辉光放电处理。等离子清洗机主要依靠（活化）等离子中的活性粒子来去除物体表面的污垢。
等离子体表面处理除胶等离子体清洗机的基本原理及应用；1）脱胶反应原理：氧气是干胶脱除中腐蚀性气体的主要成分。采用高频、微波能弱电解质进行表面处理和等离子清洗机除胶。氧离子、游离氧分子O、氧原子和电子混合物在高频工作电压下与光刻薄膜发生反应:O2-Rarr；O*+O*,CxHy+O*&Rarr；CO2&UARR；+H2O&UARR；反应完成后，涂料附着力 耐蚀性CO2和H2O被除去。
2）聚合物表面复合：等离子表面处理机...