主要的电气控制部分包括：真空泵，虫胶色漆附着力射频电源，真空计，计时器，浮子流量计，绿色电源指示灯，蜂鸣器，功率调节器，放空按钮(自锁)，气体一按钮(自锁)，气体二按钮(自锁)，高频电源按钮(自锁)，真空泵按钮(自锁)，总电源旋钮开关。。等离子体发生器可以使操作人员远离有害溶剂对人体的伤害:绝大部分的真空泵低温等离子体发生器设施都选用真空泵吸干，抽气油泵腔。一些应用是独立的，另一些是组合的。
现在，虫胶色漆附着力器材出产中的简直每道工序都有清洗这一步骤，其意图是去除芯片外表沾污、杂质，现广泛运用的物理化学清洗办法大致可分红湿法清洗和干法清洗两类，尤其是干法清洗开展很快，其间的等离子体清洗优势显着，在半导体器材及光电子元器材封装范畴中获得推广运用。
真空等离子清洗机没有那么复杂，虫胶色漆附着力差怎么回事按工频分，是40KHz和13.56mhz例:一般情况下，物料放入型腔内工作，频率为40KHz，一般温度为65℃;此外，机器内部有较强的空气冷却器。如果加工时间不长，材料的表面温度就会与室温一致。13.56MHz的频率会更低，通常为30℃;所以加工一些热易变形的材料，低温真空等离子清洗机是最合适的。
单晶圆清洗设备一般是指使用旋转喷淋对单晶圆进行化学喷淋清洗的设备。与自动化清洗站相比，虫胶色漆附着力差怎么回事清洗效率较低，生产能力较低，但对工艺环境的控制能力要高得多。并去除颗粒。自动化工作站，也称为罐式自动清洗机，是指在化学浴中同时清...
