四氟化碳在被等离子清洗机电离后会产生含氢氟酸成分的刻蚀性气相等离子体，等离子蚀刻机价格能够对各种有机表面实现刻蚀及有机物去除，在晶圆制造、线路板制造、太阳能电池板制造等行业中被广泛应用，在晶圆制造行业中光刻机利用四氟化碳气体进行硅片的线路刻蚀，等离子清洗机利用四氟化碳进行氮化硅刻蚀及光刻胶去除。大气压等离子就是常压等离子，通常有三种效果模式可选。
低压等离子表面处理技术为在微观尺度的材料表面改性提供了一种既环保又经济的方法，以下哪 个属性决定了等离子蚀刻的各向异性而且在改性过程中不需要借助机械加工和化学试剂。采用低压等离子表面处理技术，既可以在材料表面实现清洁、(激)活、蚀刻，又可以修饰优化塑料、金属或陶瓷材料的表面，改善它们的黏结能力或赋予全新的表面性能。其潜在的医学价值包括改善材料表面的亲水性能或是疏水性能、降(低)表面摩擦力以及改善材料表面的阻隔性能。
3：本清洗方式为环保绿色清洗方式，等离子蚀刻机价格避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，防止清洗后有害污染物的产生。在世界对环境保护非常感兴趣的情况下，这一点变得越来越重要。 4：无线电范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。等离子的方向不强，深入到细孔和凹入物体的内部完成清洗操作，所以不需要考虑被清洗物体的形状。并且这些难点的清洗效果与氟利昂清洗的效果相同或更好。 5：使用
