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这种杂质的去除通常是由化学方法,通过各种试剂和化学物质准备的清洁解决方案和金属离子反应,金属离子形成一个复杂的,从表面的wafer.1.4 oxideSemiconductor晶片暴露在氧气和水形成一个自然氧化层。这种氧化膜不仅阻碍了半导体制造的许多步骤,晶片表面亲水性怎么改变而且还含有金属杂质,在一定条件下,这些金属杂质可以转移到晶圆上造成电气缺陷。这种氧化膜的去除通常是通过稀氢氟酸浸泡完成的。

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