一些非聚合物无机气体（Ar2、N2、H2、O2 等）在高低频下被激发，电极表面活化能产生各种含有离子、激发分子、自由基等的活性粒子。一般来说，在等离子清洗中，活性气体可以分为两类。一种是惰性气体（Ar2、N2 等）的等离子体，另一种是反应气体（O2、H2 等）的等离子体。等离子体产生的原理如下。对一组电极施加射频电压(频率约为几十MHz)，在电极之间形成高频交流电场，该区域的气体被交流电场激发而产生等离子体。
称为电晕放电，铁电极表面如何被刻蚀活化电压和频率、电极间距、处理温度和时间都会影响电晕处理的有效性。电源电压越高，频率越高，加工强度越高，加工效果越好。但是，如果电源频率太高或电极间隙太宽，就会出现电极过多。如果电极间距太小，则会出现感应损耗和能量损耗。当加工温度高时，表面特性迅速变化。处理时间越长，极性基团越多，但如果处理时间过长，则可能在表面形成分解产物，形成新的弱界面层。
辨别真空等离子清洗机正负电极板的方法如下：我们打开真空等离子清洗机的反应仓，电极表面活化能会发现里面安装有若干电极板(亦有样品托盘的作用)。那么哪个是正极板，哪个是负极板呢。一般来说在真空等离子清洗机反应仓的后部安装有两个铜电极，其中左边为负极，右边为正极。每个电极条上有输出端与仓体侧壁的铝支撑对应。
当没有施加电场时，铁电极表面如何被刻蚀活化整个铁电体的外部不显示极化状态，因为空间中的畴取向是随机的。但是，在足够强的外电场作用下，电场的偶极矩向外...
