由于衬底具有负电位，衬底附着力问题在衬底与等离子体的界面处形成由正离子组成的空间电荷层，即离子鞘。 ``。用于封装微电子元件的等离子表面处理设备可以提高材料的表面张力。由于微电子染色、自然氧化等，如指纹、助焊剂、各种相互污染、自然氧化等，设备和材料的表面是各种微观污染物，包括有机物、环氧树脂、光刻胶、焊料、金属盐、等形式。在包装的制造过程中，这些污染物对相关过程的质量有重大影响。
中村修二领导的Soraa公司据知正在选用氮化镓（GaN）衬底，衬底附着力问题这是杰出的LED衬底资料，可是比蓝宝石更贵重，而且生产尺度也受到限制，也不能够被很多选用。因而，蓝宝石衬底得以迅速开展，占有干流商场。 依据IHS较新研讨情报显现，在2015年全球96.3%的LED生产均选用蓝宝石衬底，估计到2020年该数据将会上升到96.7%。2015年首要得益于价格跌落，蓝宝石运用商场才得以提振。
SF6通过在ITO表面形成含氟层来提高表面的功函数，pdms柔性衬底附着力粗糙度的变化并不明显。 AR 等离子处理通过去除衬底装载过程中吸附的氧气来清洁 ITO 表面。本章来源：。有机废气离子处理是一项新技术，比吸附+脱附+接触燃烧废气处理设备更具成本效益，是一种全新的废气处理设备。我们目前正在提供这项技术的基本理论。 1. 表面放电 表面放电技术是由增田[45]等人提出的。
应用等离子对其进行表面活化处理，pdms柔性衬底附着力可改善表面活性，提...
