1、钛的表面改性（铜掺杂二氧化钛的表面改性）氧化钛的表面改性 这有效地保证了光刻分割工艺在沟槽侧壁和底部没有氮化钛残留物，铜掺杂二氧化钛的表面改性但也会产生斜布。 -横截面形状和损失等严重的CD副作用；等离子清洗机除上述等离子表面处理机的蚀刻后切割方法存在的问题外，侧壁上还有氮化钛甚至氧化硅残留物。随着蚀刻的延长，随着时间的推移，上述残留物会被去除，但氮化钛的...
2、超亲水性超疏水性（二氧化钛的表面超亲水性） 新形成的自由基也处于不稳定的高能状态，二氧化钛的表面超亲水性很可能发生分解反应，在变成更小分子的同时生成新的自由基。这一反应过程可能会持续下去，最终分解成水和二氧化碳等简单分子。还有的情况是，自由基与物体表面的分子结合时，会释放出大量的结合能，而结合能又成为引发新的表面反应的驱动力，从而引发物体表面...
3、二氧化钛的超亲水性（二氧化钛亲水性实际应用） 在等离子体清洁器作用下，二氧化钛的超亲水性CH4和二氧化碳直接转化生成C2烃类。碳氢化合物的主要产物为C2H2和C2H6。等离子体功率的增加有利于C2H2的生成。CH被CO2氧化为C2烃类。甲烷转化率为31%，CO2转化率为24%，C2烃的选择性为64%。。CMOS工艺中等离子体损伤WAT方法的研究...
