目前常用的等离子体激励频率有三种:激励频率为40kHz的超声波等离子体、激励频率为13.56mhz的射频等离子体和激励频率为2.45ghz的微波等离子体。自给偏压的非均匀等离子体不同,超声波的自给偏压等离子约为1000 v,射频等离子体的自给偏压约为250 v,自给偏压的微波等离子体很低,只要几十伏,和三个等离子体的机制是不同的。
等离子体常用的激励频率有三种:激励频率为40kHz的超声波等离子体、激励频率为13.56MHz的射频等离子体和激励频率为2.45GHz的微波等离子体。超声等离子体的自偏置约为0V,45号钢怎么处理不变形射频等离子体的自偏置约为250V,微波等离子体的自偏置很低,仅为几十伏,三种等离子体的机理不同。超声波等离子体的反应是物理反应,射频等离子体的反应是物理反应和化学反应,微波等离子体的反应是化学反应。
活性组分包括:离子、电子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。等离子体清洗机就是利用这些活性组分的性质对样品表面进行处理,45号钢怎么处理不变形从而达到清洗的目的。等离子清洗机可用于清洗、蚀刻、活化和表面制备等,可选用40KHz、13.56mhz和2.45ghz三种射频发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果的需要。等离子体与固体、液体或气体一样,是一种物质状态,也被称为物质的第四种状态。
(1)激发频率对等离子体的清洗类型有一定的影响,45号钢怎么处理不变形例如:超声等离子体(激发频率40kHz)的反应以物理反应为主;微波等离子体(激发频率2.45GHz)的反应以化学反应为主;射频等离子体(激发频率为40kHz)...