在等离子体处理过程中，铜片蚀刻机器大多数有机聚合物产生亲水含氧官能团，增强了表面能，提高了表面结合强度。-等离子蚀刻机还容易发生表面腐蚀，导致表面粗糙，最终使基片表面积增大，表面形貌发生变化。等离子体频率会影响治疗效果。一般来说，高频比微波和无线电波更有效。在O2等离子体处理过程中，聚合物膜很快产生官能团。辐照2S中可以生成高密度的含氧官能团，表面能显著提高。过度的辐照会在材料表面形成一个弱的界面层，导致结合强度下降。
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等离子清洗机不需要添加任何化学品，铜片蚀刻机等离子清洗后，被清洗的物体已经非常干燥，不用经过干燥工序就可以送到下一道...
