由于氩气的分子比较大，铜箔经过氧气等离子体处理电离后产生的粒子在表面清洗和活化时通常会与活性气体混合。最常见的是氩气和氧气的混合物。氧气是一种高反应性气体，可以有效地化学分解有机污染物和基材的表面，但其颗粒相对较小，破坏键和壳的能力有限。在加入一定比例的氩气后，等离子体更能破坏和区分有机污染物或有机基材表面的键，加快清洗和活化的效率。氩气和氢气的混合物用于引线键合和键合工艺。
等离子技术的优势： 在涂装、涂装、模内装饰或模内贴标前，氧气等离子处理后对结构复杂的汽车内饰部件，如仪表板、车门等内部零件进行精确、快速的预处理，从而获得快速、均匀的表面活化。处理过程只需要空气、氧气、氩气等工艺气体，绿色环保，不使用化学溶剂，对产品和环境无二次污染，在常温条件下进行超清洗，对样品非破坏性处理且定时处理、快速处理、清洗效率高。。
等离子刻蚀机在晶圆及电路板制造业中的应用；一、等离子刻蚀机的应用（1）在晶圆制造行业的应用在芯片制造行业，铜箔经过氧气等离子体处理四氟化碳气体用于硅片的线刻蚀，等离子刻蚀机使用四氟化碳进行氮化硅刻蚀和光刻胶。利用纯四氟化碳气体或四氟化碳与氧气结合，等离子刻蚀机可在晶圆上形成微米级氮化硅刻蚀，四氟化碳与氧气、氢气结合可去除四氟化碳。（2）在PCB制造行业的应用智能制造等离子刻蚀机的刻蚀在电路板制造行业应用很早。
真空等离子设备使用率低暖等离子体中的某些阳离子被激活，铜箔经过氧气等离子体处理确保了去除原材料表面空气源的特定效果。该方法可以科学、合...
