在等离子体清洁器电弧放电过程中，阴极电泳漆附着力较差电子和正离子在放电极点电场的作用下向正极移动，并在极点周围沉积耗尽层区域。由于正离子的漂移速度比电子慢得多，耗尽层区域的电荷密度远大于电子耗尽层区域，使得整个电极间电压集中在靠近阴极的狭窄区域。正常电弧放电时，电极间的电压不随电流变化，这也是电弧放电的一个重要特征。
当然也有兼备转移弧和非转移弧的联合式等离子体炬。 电弧等离子体炬由于阴极损耗，阴极电泳漆附着力较差必然使等离子体中混入阴极材料。根据不同的工程需要，可选用损耗程度不同的材料作阴极。如要阴极损耗尽可能小，一般采用难熔材料，但具体选择材料时应考虑到所使用的工作气种类。如工作气为氩、 氮、氢-氮、氢-氩时，常用铈-钨或钍－钨作阴极；工作气为空气或纯氧时，可用锆或水冷铜作阴极。
气体辉光放电是与气体电晕放电和电弧放电相关的放电状态。它在真空中通过两个电极（定量气体）。常用的气体是氩气和氧气的混合物。当施加的直流电压超过初始值时，阴极电泳漆附着力较差会发生放电电压和辉光放电。在气体辉光放电期间，从阴极发射的电子通过电场。它加速，获得能量，与气体分子碰撞，激发气体分子，在等离子区产生大量正离子（电子等离子区任意位置的浓度就是正离子浓度（在电子等离子区任意位置的浓度）电子等离子区）。
例如，阴极电泳漆附着力较差在高频电场中处于低压状态的氧、氮、甲烷、水蒸气等汽体分子结构在等离子体蚀刻机中。在辉光放电的情况下，可以分解出加速运动的原子和分子结构，生的电子器件和分离点有正负电荷的原子和分子结构。这样形成的电子器件在电场加速时获得高能量，与周围的分子和原子发生冲突，在分子和原子中形成电子器件，自身处于激发状态和离子状态，物质存在的状态是等离子体状态。等离子体刻蚀机是通过人工方式获得的。
