也有许多较为难清除的氧化物质可运用氢气（H2）相互配合清洁，电泳附着力0级和1级必要条件是要在密封性特别好的真空环境条件下运用。也有许多特殊性混合气体类似四氟化碳（CF4），六氟化硫（SF6）等，刻蚀和清除有机化合物的功效会更为显着。但这类混合气体的运用前提条件是要有一定抗腐蚀供气和内腔架构，此外自身要戴好保护罩和胶手套才能够作业。在最后想说的1种普遍混合气体便是氮气（N2）。
同时，电泳附着力0级和1级等离子体清洗技术利用等离子体之间的结合和碰撞对气体进行改性。在等离子体清洗过程中，设备内高频放电产生高能将气体电离为等离子体，还能打开有害气体分子的化学能，分解为单质原子或无害分子。等离子体中含有大量高能电子、正负离子、激发态粒子和氧化性强的自由基。
单用速率来衡量反应效率并不全面.因此，氧化皮对电泳附着力影响有必要引入能源效率。该物理量评价等离子等离子作用下的CO2氧化物CH4转化反应。
超声波等离子体产生的反应是物理反应，氧化皮对电泳附着力影响高频等离子体产生的反应既是物理反应又是化学反应，微波等离子体产生的反应是化学反应。射频等离子清洗和微波等离子清洗主要用于现实世界的半导体制造应用，因为超声波等离子清洗对待清洗表面的影响最大。超声波等离子对表面脱胶和毛刺研磨最有效。典型的等离子物理清洗工艺是在反应室中加入氩气作为辅助处理的等离子清洗。氩气本身是一种惰性气体。
氧化皮对电泳附着力影响
