活性组分包括:离子、电子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。等离子体清洗机就是利用这些活性组分的性质对样品表面进行处理，面漆对涂层附着力的影响从而达到清洗的目的。等离子体与固体、液体或气体一样，是一种物质状态，也被称为物质的第四种状态。给气体施加足够的能量使其游离成等离子体状态。等离子体的活性组分包括:离子、电子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。
不同气体的等离子体具有不同的化学性质，面漆对涂层附着力的影响如氧等离子体氧化性高，可氧化光刻胶产生气体，从而达到清洗效果（果实）；腐蚀气体的等离子体具有良好的各向异性，可以满足刻蚀的需要。等离子体处理会发出辉光，故称辉光放电处理。
氩和氦的性质稳定，面漆对涂层附着力的影响且放电电压低（氩原子的电离能E为15.57eV）易于产生亚稳态的原子，首先等离子处理设备利用其高能粒子的物理作用净化易被氧化或还原的对象，Ar+的电离能产生亚稳态原子，从而避免表面材料发生反应；其次利用氩气易产生亚稳态的原子，再与氧氢气分子碰撞时发生电荷转换和再结合，从而避免表面材料发生反应。
等离子表面处理装置的等离子体中粒子的能量一般在几个到几十个电子伏特左右，涂层附着力破环性质大于高分子材料的键能（几个到10个电子伏特），可以完全破坏化学物质。 .有机聚合物的键 形成新的键，但远低于高能放射线，只涉及材料的表层，不影响基体的性能。在非热力学平衡的冷等离子体中，电子具有很高的能量，可以破坏材料表面分子的化学键，提高粒子的化学反应性（比热等离子体大）。
