活性组分包括:离子、电子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。等离子体清洗机就是利用这些活性组分的性质对样品表面进行处理，面漆对涂层附着力的影响从而达到清洗的目的。等离子体与固体、液体或气体一样，是一种物质状态，也被称为物质的第四种状态。给气体施加足够的能量使其游离成等离子体状态。等离子体的活性组分包括:离子、电子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。
不同气体的等离子体具有不同的化学性质，面漆对涂层附着力的影响如氧等离子体氧化性高，可氧化光刻胶产生气体，从而达到清洗效果（果实）；腐蚀气体的等离子体具有良好的各向异性，可以满足刻蚀的需要。等离子体处理会发出辉光，故称辉光放电处理。
氩和氦的性质稳定，面漆对涂层附着力的影响且放电电压低（氩原子的电离能E为15.57eV）易于产生亚稳态的原子，首先等离子处理设备利用其高能粒子的物理作用净化易被氧化或还原的对象，Ar+的电离能产生亚稳态原子，从而避免表面材料发生反应；其次利用氩气易产生亚稳态的原子，再与氧氢气分子碰撞时发生电荷转换和再结合，从而避免表面材料发生反应。
等离子表面处理装置的等离子体中粒子的能量一般在几个到几十个电子伏特左右，涂层附着力破环性质大于高分子材料的键能（几个到10个电子伏特），可以完全破坏化学物质。 .有机聚合物的键 形成新的键，但远低于高能放射线，只涉及材料的表层，不影响基体的性能。在非热力学平衡的冷等离子体中，电子具有很高的能量，可以破坏材料表面分子的化学键，提高粒子的化学反应性（比热等离子体大）。
涂层附着力破环性质
大约是 250 伏。它非常低。机制也不同。超声波高频等离子技术装置的反应是物理反应，高频等离子技术装置的反应是物理化学反应，微波等离子技术的反应是化学反应。超声波等离子清洗对表面清洗有重大影响，因此高频等离子设备和微波等离子清洗主要用于现实世界的半导体制造应用。超声波等离子技术对等离子技术的表面进行物理清洗、脱胶、去毛刺等，具有很高的物理清洗（效果）效果。
医院、制药业、养殖业排放的废水中往往含有大量抗生素残留。这些废水如果不经处理直接排放，将严重影响生态平衡，威胁人类健康。等离子体处理被认为是固体、液体和气体以外的物质存在的“第四状态”。近年来，等离子体治疗在工业、农业、生物医药等诸多领域显示出广阔的应用前景。黄庆研究员与企业合作，提出了利用“等离子体生物技能”处理废水、降解抗生素的方案。
如此产生的电离气体叫做气体放电等离子体。大气等离子清洗机按所加电场的频率不同，气体放电可以分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等多种类型。直流（DC）放电因其简单易行，特别是对于工业大气等离子清洗机装置来说可以施加很大的功率至今仍被采用。低频放电的范围一般是1- kHz，现在装置常用的频率为40kHz。
等离子清洗/蚀刻机在密闭容器中设置两个电极产生电场，利用真空泵实现一定的真空度产生等离子。形成等离子体时，这些离子非常活泼，它们的能量足以破坏几乎所有的化学键，从而在暴露的表面上引起化学反应。此外，各种气体的等离子体具有各种化学性质，如氧等离子体具有很强的氧化性。它氧化和反应摄影者产生气体，达到清洁效果。腐蚀性气体等离子体具有高度的各向异性，可以满足蚀刻要求。
涂层附着力破环性质
一、等离子清洗机的包装在准备等离子清洗机之前，面漆对涂层附着力的影响要将等离子清洗机的备件进行拆卸并摆放整齐，如电源、真空泵、三色报警灯等，其他要清洗设备的外观。先将设备主体及所有拆下的配件用缠绕膜包裹。然后在下一层涂上一定厚度的珍珠棉。然后用缠绕膜包裹另一层以提供足够的保护。
氢离子等离子体发生器电源等离子体放电当选择惰性气体进行等离子体表面处理时，涂层附着力破环性质如果处理后的高分子材料本身含有氧气，大分子就会开裂产生大分子碎片，大分子碎片进入等离子体为等离子体系统提供氧气，也会产生氧等离子体效应。如果材料本身不含氧，经懒等离子体处理后，新的自由基（半衰期可达2～3天）和空气中的氧效应也可导致氧与大分子链的结合。
