CH4+E*&mdash；>CH3+H+e(3-1)CH3+E*&mdash；>CH2+H+e(3-2)CH2+E*&mdash；>CH+H+E（3-3）CH+e*&mdash；>C+H+e(3-4)CH4+E*&mdash；>CH2+2H(H2)+e(3-5)CH4+E*&mdash；>CH+3H(H2+H)+e(3-6)CH4+E*&mdash；C+4H(2H2)+E(3-7)自由基之间发生偶联反应，颗粒物表面改性产生以下产物（M为第三体、反应器壁等）：CH3+CH3+M&mdash；>C2H2+M(3-8)CH2+CH2+M&mdash；>C2H4+M(3-9)CH3+CH2+M&mdash；>C2H4+H+M(3-10)CH+CH+M&mdash；>C2H2+M(3-11)CH+CH2+M&mdash；>C2H2+H+M(3-12)CH3+C+M&mdash；>C2H2+H+M(3-13)由于体系中浓度较高的颗粒是甲烷分子，甲烷分子与各种甲基自由基碰撞引发新的自由基，生成各种C2烃类产物也是不可忽视的重要途径：CH2+CH4+M&mdash；>C2H6+M(3-14)CH+CH4+M&mdash；>C2H4+H+M(3-15)C+CH4+M&mdash；>C2H4+M(3-16)C+CH4+M&mdash；>C2H2+H2+M(3-17)同时，甲烷等离子体发射光谱中存在C2物种的事实，使得有理由推断乙炔也可以通过以下途径形成：C2+H+M&mdash；>C2H+M(3-18)C2H+H+M&mdash；>C2H2+M(3-19)在大气压脉冲电晕等离子体中，高能电子具有宽能量分布范围，因此甲烷等离子体中各种自由基的浓度不同，反应的主要产物是乙炔和氢气，次级产物是乙烯和乙烷。
该应用程序可确保整个生产过程的清洁并降低成本。由于低温等离子体能量高，颗粒物表面改性可以有条件地分解原料表面的有机化学成分和有机成分。超精细清洁还可以去除敏感表面上的有害物质。通过这种方式，为后续的涂层工艺准备了良好的先决条件。
