放电间隙窄，电晕机用几根电极加工要求高；难点二：高性能DBD器件对介质层材料的介电常数要求很高；难点三：宏观均匀电场的微观强化；难点四：电极材料和密封材料的抗氧化性；难点五：大气压平板电晕堆阵列激励技术。。低级烷烃在常压低温电晕中的转化反应；低碳烷烃(C1～C4)是丰富的烃类资源，广泛存在于天然气、油田气、煤层气和催化裂化气中。
1-4多层电极电晕容量相对较高，电晕机用几根电极每个支架上可根据需要放置多片晶圆，更适合去除半导体分立器件和电力电子元件专用的4英寸和6英寸晶圆的光刻底膜。
真空电晕通过两个电极形成电磁场，电晕机用几根电极用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离和分子之间或自由运动的距离越来越长，在磁场的作用下，碰撞形成电晕，同时会产生辉光，电晕在电磁场空间内运动，并轰击被处理物体的表面，以去除表面油污和表面氧化物、灰表面有机物等化学物质，从而达到表面处理、清洁和蚀刻的效果。通过电晕处理工艺可以实现选择性表面改性。
电晕是物质存在的一种状态，电晕机用几根电极又称第四态（通常物质为固体、液体和气体），是利用高压电源在一定压力下向气体添加足够的能量而产生的。在清洁状态下，有以下物质：高速运动的电子，活性状态的中性原子、分子、原子团（自由基），电离的原子、分子、未反应的分子、原子等，但物质整体保持电中性。清洗性能主要与电晕激发速率有关。目前国际上常用的激发速率为40千赫、13.56MHz和20MHz。
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这是一种非破坏性的表面处理方法，可以在短时间内彻底去除有机污染物，清洁能力达到分子水平。正负电晕能接触表面毛刺，能快速去除膜线和毛刺！直接注入电晕的高温熔化毛刺和膜线，从尖锐的毛刺变成更柔软的边缘。同时，它能产生高能电子、自由基等活性粒子，与毛刺快速反应，最终转化为CO2和H2O，不会产生二次污染，并由电晕枪头喷出的高热气体蒸发。
电晕是由大量带电粒子组成的非束缚宏观系统，其中含有自由电子、自由离子，可能还有中性粒子。电晕是继固体、液体、气体三种物质基本形态之后的第四种物质形态，广泛存在于自然界中。电晕的特性是：1.准电中性。由于高电离，任何破坏中性的扰动都会导致该区域出现强电场，从而恢复中性。也就是说，电晕中电荷分布偏差的空间和时间尺度都很小。2.导电性强。
根据是否与流水线连接或是否自动连接，可分为独立式大气电晕和在线式大气射流电晕：独立式（单机式）大气射流电晕，即电晕发生器和电晕喷嘴。普通喷枪上部有安装孔，用户可根据需要加工安装夹具，在流水线上任意使用。特殊电极材料的使用减少了污染，避免了工件的二次污染。
低电子温度可以降低解离速率，从而降低晶圆表面轰击能量、聚合物生产和真空紫外发射。低电子温度可以使离子能量峰的宽度变窄，使精确控制能量打击成为可能，从而提高选择性。此外，在电晕的电晕关闭时间内，新鲜气体可以改变电晕的均匀性。另外，同步冲孔可以通过off比调节活性基通量和子通量，从而影响蚀刻选择性比，影响程度与特定的蚀刻气体有很强的相关性。
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