与化学灭菌法相比，软板等离子体表面清洗设备它具有低温的优点，可用于各种物品和材料。更安全、更可靠，值得大范围推广，尤其是断电后，各种活性颗粒会在几秒内迅速消失，不需要特别通风，不会伤害操作者。..冷等离子体的电离率低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可以与室温媲美。因此，冷等离子体是一种非热力学平衡等离子体。
当塑料元件放置在放电通道中时，软板等离子体表面清洗设备放电过程中产生的电子与表面碰撞的能量大约高出两到三倍，破坏了大多数基板表面的分子键。这会产生活性自由基。这些自由基存在于氧气中，可以迅速反应在基材表面形成各种官能团。这种氧化反应产生的官能团可以有效提高表面能，加强与树脂基体的化学键。这些包括羰基 (-C = O-)、羧基 (HOOC-) 过氧化氢 (HOO-) 和羟基 (HO-) 基团。
氧化钛膜厚：0.400 μm 0.43 μm 0.47 μm 0.53 μm 0.58 μm 颜色 紫色 浅蓝色 蓝色 蓝色 绿色 黄色 当然，软板等离子体表面清洗设备也有氮化硅等其他层可以实现这种干涉效应。还有氧化硅。 , 见下表。
这有助于引发进一步的反应。离子对物体表面的作用通常是指带正电的阳离子的作用。阳离子倾向于向带负电的表面加速。此时，软板等离子体表面清洗设备物体表面获得足够的动能。它与粘附在表面上的颗粒碰撞并去除它们。这种现象称为溅射。离子碰撞可以大大增加物体表面发生化学反应的可能性。紫外光与物体表面的反应 紫外光具有很强的光能，可以破坏和分解附着在物体表面的分子键，紫外光的强度足以穿透物体表面，具有穿透能力.它对微米有一些影响。
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对于 NiO / Y-对于Al2O3，CO2转化率高，除了系统中C和O的结合，CO2的产率高。当CHx自由基吸附在其表面时形成CO2的催化剂这也是一个更重要的原因。在相同的实验条件下，研究了 NiO 负载对两种烃和 CO 产率的影响。随着 NiO 负载量的增加，C2 烃的产率降低，CO 的产率增加。
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