通过几次试验发现，电晕机和静电区别真空等离子体刻蚀设备某些参数的改变，既能满足上述刻蚀要求，又能形成一定的氮化硅层，即侧壁刻蚀。。等离子体化学催化只有当分子的能量超过活化能时才能产生化学反应。在传统化学中，这种能量是通过分子之间或分子与壁之间的碰撞来传递的。
二、影响清洗效果的主要因素1.电极对等离子体清洗效果的影响：电极设计对等离子体清洗效果有显著影响，电晕机和静电发生器的区别包括电极材料、布局和尺寸等因素。对于内部电极等离子体清洗系统，由于电极暴露在等离子体中，某些材料的电极会被某些等离子体刻蚀或溅射，造成不必要的污染和电极尺寸的变化，较小的电极间距可以将等离子体限制在较窄的区域内，从而获得较高密度的等离子体，达到较快的清洗速度。
电压降与电极比表面积的关系为VA/Vb=(Sb/Sa)&α；和指数&α；在假设的理想状态下，电晕机和静电区别范围在1.0到2.5之间，因此这个值可以作为参考，但仍缺乏作为依据。在圆形电容耦合高频放电过程中，指数&α；也可视为在上述范围内。下图为等离子体表面处理设备圆柱形射频放电极板电压示意图。工业应用的圆柱耦合射频等离子体表面处理设备常采用圆柱石英玻璃作为其反应室。
如果不一致，电晕机和静电发生器的区别确保将其从生产线上疏散或密封，并在操作人员可及的范围内。使误取误用成为不可能，称为换型防错。换模时，操作员用“换模防错检查表”检查记录软硬件切换已全部落实，组长互相检查。3数量短缺增加人员的相互检查会导致效率降低。然后，除了使用计数器外，还可以从以下角度考虑改进：如果是正规产品，要摆放整齐。将一个包装箱或一个料箱固定几行、几列、几层，将点检数量转化为排列形状的外观检查，数量确认变得非常直观。
电晕机和静电发生器的区别
5.受控效果：大、宽等离子体设备中的等离子体有三种效果模式。1.选择氩/氧组合，主要针对非金属材料，对处理效果要求较高。其次，选择氩/氮的组合，主要针对待处理产品中存在不可处理金属的区域。在该方案中，由于氧气的强氧化作用，更换氮气后可以控制问题。再次，只需使用氩气即可实现表面改性，但效果相对较低。这种情况比较特殊，是一些工业用户在需要均匀表面改性的同时进行的程序。。
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