等离子体与材料表面的化学反应主要是利用等离子体中的自由基与材料表面发生反应。化学反应中常用的气体有氧气、氢气、CH4等。这种气体会发生化学反应。等离子体产生高活性自由基自由基的作用主要是化学反应过程中能量转移的“活化”。处于激发态的自由基与表面结合时变得更有活力，如何改善聚氨酯附着力产生新的自由基。对象的分子。
当以这种方式产生的电子被电场加速时，如何改善聚氨酯附着力它们获得高能量并与周围的分子或原子碰撞。结果，分子和原子中的电子被激发，它们本身变成激发态或离子态。此时，物质存在的状态是等离子体状态。在辉光放电的情况下，在高频电场下处于低压状态的氧气、氮气、甲烷和水蒸气等气体分子被加速分解为原子和分子，产生电子和解离。这些点是带正电和带负电的原子和分子。当以这种方式产生的电子被电场加速时，它们获得高能量并与周围的分子或原子碰撞。
等离子体中的高能电子在等离子体技术分解气态污染物中起着决定性作用。数万度的高能电子与气体分子(原子)非弹性碰撞，如何改善聚氨酯附着力能量被转换为基分子(原子)的内能，发生激发、解离和电离等一系列过程，使气体处于活性(化学)状态。当电子能量较低(< 10eV)时，产生活性自由基，通过等离子体定向链式化学反应将被激活(化学化)的污染物分子去除。当电子的平均能量超过污染物化学键的结合能时，分子键断裂，污染物分解。
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在等离子体化学反应过程中，等离子体转移化学能过程中的能量转移大致如下：（1）电场+电子→高能电子（2）高能电子+分子（或原子）→（受激原子、受激基团、游离基团）活性基团（3）活性基团+分子（原子）→产物+热（4）活性基团+活性基团→产物+热量从上述过程可以看出，电子首先从电场中获得能量，并通过激发或电离将能量传递给分子或原子。得到能量的分子或原子被激发，一些分子同时被电离，从而成为活性基团。
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