电晕电晕状态下的电子和原子脱离原子约束，电晕表面处理装置选哪家中性原子、分子结构和离子无序运动，能量很高，但整体是中性的。高真空泵房内混合气体的分子结构被电磁能强化，加速后的电子相互碰撞，使原子和分子结构的外层电子偏离轨道，产生离子或高活性氧自由基。
由表3-3可知，好用的春日电晕表面处理装置C2H6和CO2的转化率分别为33.8%和22.7%，C2H4和C2H2的总收率为12.7%。负载型稀土氧化物催化剂(La2O3/Y-Al2O3和CeO2/Y-Al2O3)引入反应体系后，C2H6的转化率、C2H4的选择性和产率、C2H2的选择性和产率均有所提高，而CO2的转化率略有下降。
与激光烧蚀相比，好用的春日电晕表面处理装置电晕改性的效果更好。电晕聚合涂覆技术通过电效应将聚合的有机气体电晕化，这些活性粒子发生加成反应，在木材表面形成聚合膜，从而实现防潮、防火、防霉等功能特性。电晕轰击木材表面，发生刻蚀，形成微观&ldquo；沟壑&rdquo；增加木材表面粗糙度，创造液体输送通道，提高液体的润湿性和渗透性，同时在涂胶时形成胶钉效应，提高涂胶性能。
从机理上看：电晕在清洗中通过工作气体在电磁场的作用下激发电晕与物体表面发生物理反应和化学反应。其中，电晕表面处理装置选哪家物理反应机理是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物从表面分离，最后通过真空泵吸走；其化学反应机理是各种活性颗粒与污染物反应生成挥发性物质，再通过真空泵将挥发性物质吸走，从而达到清洗的目的。我们的工作气体常用氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)、甲烷(CF4)等。
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正因如此，氩电晕被广泛应用于半导体、微电子、晶圆制造等职业。真空电晕中氩离子化产生的电晕呈暗红色。在相同放电环境下，氢气和氮气产生的电晕颜色均为红色，但氩电晕的亮度低于氮气，高于氢气，仍是很好的差异。1外部清洗在去除晶圆、玻璃等产品的外部颗粒的过程中，一般选用用Ar电晕轰击外部颗粒，达到颗粒破碎疏松（与基体外部分离）的效果，再用超声清洗或离心清洗去除外部颗粒。
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