等离子清洗技术在LED封装工艺中已经显示出很大的优势,如清洗均匀性好、重复性好、可控性强、三维加工能力强、方向性选择和处理好、环保等,主要体现在三个方面:点银胶前、引线键合前、LED封装前:
当然,也要注意等离子体过程中的静电损伤。在等离子体技术中,大气等离子体和射频等离子体不可避免地会产生静电损伤。在清洗过程中,正负电极之间的电压差有上千伏,所以会有一定几率产生静电,ITO玻璃表面的引线可能会被击穿,造成静电破坏,损坏产品。
使用金徕等离子体清洗方法将从根本上避免静电损害,因为等离子体的产生方式不同于其他两种等离子体。等离子体的产生不需要正负电极和高压差。它是由微波发生器连接的磁控管,在反应室旁边的谐振腔中通过磁场的正负两极产生等离子体。它不直接接触反应室中的ITO玻璃,但是产生的等离子体清洁并活化ITO玻璃的表面。这样从根本上避免了ITO玻璃静电损伤的问题,在等离子清洗的过程中也不会造成损耗。