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当基片的负电势达到一定的程度,广东等离子设备离子流就会变成电子流。因为基底是负电势,所以在基底和等离子体的交界处形成了由正离子构成的空间电荷层,也就是离子鞘层。`。等离子体表面处理仪应用于微电子元器封装可以改善材料表面张力,由于指印、助焊剂、各种交叉污染、自然氧化等原因,微电子元染、自然氧化等原因,设备和材料表面会形成各种微观污染物,包括有(机)物、环氧树脂、光刻胶、焊料、金属盐等。

各种等离子体气相沉积是当前世界上著名研究机构和大学竞相开展的具有挑战性的研究课题,广东等离子设备国外已对等离子体化学气相沉积(PCVD)以及其它表面改性方法开展了计算机模拟研究,针对PCVD过程进行模拟,采用宏观和微观多层次模型,对等离子体工艺和涂层各种性能和基体的结合力进行模拟和预测;对金属表面渗层性能应力等进行计算机模拟,可更好地控制和优化工艺过程。