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氩气等离子的优势是清洁材料表层不会留下任何氧化物。缺点是过度腐蚀或污染物质颗粒可能在其他不希望区域重新积累，但这一些缺点可以通过详细调整工艺参数来控制。三、同时电浆清洗物、化学反应 物理反应和化学反应在清洗中起着关键作用。如果在线等离子清洗环节中采用O2混合气体，反应速率比单独采用Ar或O2快。氩离子加速后，产生的动能可以提升氧离子的反应能力，因此物理化学方法可以清除污染严重的材料表层。。
与未经处理的血液过滤器相比，改性后的血液过滤器大幅减少了血小板的附着量。有些时候，通过对体外材料的表面改性来增强培养细胞的黏附性和培养过程中细胞生长速率是十分必要的。在某些特殊情况下，细胞黏附性和培养过程中细胞生长速率是十分必要的。在某些特殊情况下，细胞黏附效果是保证细胞繁殖的必要条件，经等离子体表面改性后的体外细胞培养皿，在其表面的细胞繁殖速率明显比未处理培养皿表面的细胞繁殖速率快。
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在等离子去污中，广东低温等离子处理机速率将面板置于真空箱中，从电源引入气体，将其转化为等离子体，等离子体在面板表面发生反应，真空泵将挥发性树脂的污染去除。等离子表面处理设备的去污研究较多。研究人员研究了等离子机腔的蚀刻速率分布和我们确定了刻蚀速率与时间的关系，确定了刚挠板中聚酰亚胺、丙烯酸粘合剂和环氧树脂三种材料的刻蚀速率与等离子体参数的关系。
