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另一方面，环氧富锌涂料附着力当各种活性粒子与被清洗物表面接触时，各种活性粒子与被清洗物表面的杂质发生化学反应，产生挥发性气体等，将挥发性物质抽真空。 .例如，ROS 等离子体氧化材料表面的有机物质。反之，随着各种活性颗粒与清洗剂表面碰撞，材料表面的杂质被真空泵的气流吸收。等离子表面处理机本身不会引起化学反应，不会在被洗物表面留下氧化物，因此可以更好地保持被洗物的纯度，保证材料的各向异性。 三极管的形状就是三极管的形状。
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4)电磁辐射区域内的高频表面等离子体不同于激光束等直接照射。鉴于表面等离子体的导电性较弱，它可以穿透物体内部的微孔和凹陷来完成清洗任务，所以不需要过多考虑被清洗物体的形状。而这些难清洗区域的清洗效果和氟利昂的清洗似乎比较好。表面等离子体表面处理机需要控制真空度pa，容易达到洁净条件。
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一般把电子间碰撞达到热力学平衡的温度称为Te，也就是电子温度。而当等离子表面处理设备离子碰撞时，达到热力学平衡的温度是Ti，也就是离子温度，实际上，Te和Ti通常是不同的。高气压条件接近大气压时放电，则电子、离子、中性粒子将因激烈碰撞而充分交换动能，使等离子体达到热平衡状态，电子温度与离子温度相近，属低温等离子体中的热等离子体。
对于电容耦合高频等离子体源，保持在平行电极之间的等离子体主要由高频电场加热。大多数电容耦合射频等离子体反应堆是不磁化的，工作频率在1和MHz之间。它们对电磁场的电荷响应低于电子等离子体反应器，即。
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