等离子清洗机的电源可以按频率分为中频电源、射频电源和微波电源，在等离子处理中各自具有独特的特点。

1、中频等离子清洗机：

由于中频电源直接输出到电极板的电压较高，其自偏压也较高，产生的负自偏压就会引起正离子的功率吸收，从而直接引起电极板的温度升高。同时由于在这个过程中离子会吸收部分的功率，因此用于电离的电子的功率吸收就相应地减少了，从而造成等离子体密度较低，与离子能量较高的现象，这样一来在处理过程中，工艺处理过程中的温度也会升高。

2、射频等离子清洗机：

射频等离子清洗机与中频等离子清洗机不同的是，在射频容性耦合方式的放电过程中，电极板产生的自偏压受到放电气压的影响，但其中自偏压较小，电子的功率吸收主要来自于与电极板表面的震荡鞘层相互作用。因此，射频等离子清洗机的激发频率越高，电子的功率相对的也会越高，相应的离子轰击的能量就会降低，所以在工艺处理过程中的温度就会相对中频等离子清洗机较低。

3、微波等离子清洗机

而微波等离子清洗机的放电过程中，在这样的清洗方式下没有自偏压，离子浓度高，离子能量低。主要有着两种方式，即表面波型和电子回旋共振型，前者一般用于商业清洗，是通过辐射微波电磁场直接将气体击穿实现放电，其中并没有离子的加速作用，其电子密度较高，但通常要去放电气压高，从而会引起等离子体局域化比较严重的情况，不利于纵深清洗方式和多层面的大尺度的清洗处理。此外，微波等离子清洗机也不适合对一些精密的电子元器件进行处理。


注：

自偏压指的是当腔体电极接上RF功率时，由于电子和离子的运动，会在电极附近形成带负电的鞘层电压。这是因为电子的质量远小于离子，因此到达电极的电子数量多于离子，导致电极附近形成自偏压。