高压脉冲等离子清洗机技术
1提出了用高压毫微秒脉冲产生的非平衡等离子体处理印染废水的方法。
2采用四极质谱仪测量了试验参数对高压脉冲增强射频磁控溅射ptfe靶等离子体气氛的影响规律。
3等离子体源离子注入装置由脉冲负高压源系统、热阴极弧放电系统、真空室及样品台、真空系统和监测系统等五部分组成。
