这些等离子体在密闭的真空中产生。与常压条件下相比，每个单位体积中的微粒数较少，这样就增加了粒子自由程长度，并相对减少了碰撞过程。因此，等离子体能量削弱的倾向减弱，可在空间内更广泛地传播。要制造真空腔体，需要使用功能强大的气泵。真空等离子技术不具备在线联动功能。
常压等离子是在大气压条件下产生的。这就是说，不需要使用真空腔体。采用电弧放电喷枪技术，首次实现在大气压条件下将非常有效——更重要的是—安全无电势的等离子直接集成到工艺之中。常压等离子处理机成本低、性能好，因而作为真空等离子和电晕工艺的工艺替代和工艺提升，获得了广泛的应用。 常压等离子技术的一大优势，在于其在线集成能力。作为一项工艺准则，这种技术能够顺利集成到现有的生产系统中。
电晕处理是一种使用高电压的物理工艺，主要用于薄膜处理。电晕预处理的缺点是，表面活化能力相对较低，而且处理之后的表面效果有时不够均匀。薄膜的反面也会被处理，有时这是工艺要求需要避免的。而且，经由电晕处理得到的表面张力无法维持长时间的稳定性，经过处理的产品往往只能存放有限的时间。
