另外两种常用的气体是氩气和氦气，氩气等离子体清洁它们的优点是击穿电压低，等离子体稳定。其中，氩原子的电离能ε为15.75EV，氩等离子体中含有大量半稳态原子。理想的物理反应气体。在实际清洗中，单独使用物理或化学效果不好，是充入一种混合气体，同时使用两种或多种混合气体可以获得更好的清洗效果。例如，在氩和氧的组合中，氩离子使用物理冲击来清洁表面。
真空泵的输送系统、控制系统和其他部分通常使用旋转油泵，氩气等离子体清洁机器高频电源通常使用 13.56 MHz 无线电波。该设备的操作过程如下。 (1) 固定清洁后的真空室，启动操作装置，开始排气。真空室的真空度达到10Pa的标准真空度。正常排气时间大约需要 2 分钟。 (2) 将清洗气体引入真空室，压力保持在 Pa。可根据清洗剂选择氧气、氢气、氩气或氮气。
通过三种方法（机械粗化法、氧、氮、氩气低温等离子表面改性和中间层法）对聚丙烯进行处理，氩气等离子体清洁并考察了金属聚合物对聚合物的粘合性能，结果为表面处理可以有效提高聚丙烯与铜的附着力，但等离子处理的效果更好，尤其是AR等离子，在聚丙烯聚合过程中，中间层是C-0键。包括强附着力。
等离子清洗设备中的非反应性气体，氩气等离子体清洁机器如氩气、氦气、氮气。氮处理可以提高硬度和耐磨性。氩氦性质稳定，分子充放电工作电压低，易产生亚稳态分子。当AR气体与污染物碰撞时，会产生挥发性化学物质并由真空泵排出，以防止表面化学物质发生反应。氩气往往是一种亚稳态分子，当它与氧原子碰撞时，会发生正电荷转换和复合。纯氢在等离子等离子设备中非常有效，但考虑到充放电的可靠性和安全性，氩氢化合物也可以用于等离子清洗机。
氩气等离子体清洁
气体辉光放电是与气体电晕放电和电弧放电相关的放电状态。它在真空中通过两个电极（定量气体）。常用的气体是氩气和氧气的混合物。当施加的直流电压超过初始值时，会发生放电电压和辉光放电。在气体辉光放电中，从阴极发射的电子经过电场，加速获得能量，与气体分子碰撞，激发气体分子在等离子体区（等离子体区）产生大量的阳离子。喉部的浓度等于阳离子浓度，这些阳离子在电场的作用下被加速向阴极移动，撞击靶材表面和薄膜。
常用案例有三种&MIDDOT；防水涂层&MDASH；环己烷&MIDDOT；类似PTFE材料的涂层---含氟处理气体&MIDDOT；亲水涂层---醋酸乙烯等离子表面处理的效果简直就是用水，我们确认处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（15 分钟或更长时间）不仅会激活材料表面，还会对其进行蚀刻，蚀刻后的表面可提供最大的润湿性。常用的处理气体包括空气、氧气、氩气、氩氢混合气体和CF4。
在一些等离子清洗中，物理和化学反应都在表面反应机理、反应性离子腐蚀中起重要作用。腐蚀或反应离子束腐蚀，两次清洗相互促进，离子撞击损坏被清洗物体表面，削弱化学键或形成原子态，易吸收反应物，离子碰撞加热和反应被清洗物体；效果不不仅选择性、洗涤速度、均匀性更好，而且方向性更好。典型的等离子物理清洗工艺是氩等离子清洗。氩气本身是惰性气体，等离子氩气不与表面反应，但会通过离子冲击清洁表面。
基于以上影响和客户的要求，我们将根据客户的需求做出响应。系统服务响应客户需求，实现更好的服务效益，解决客户的后顾之忧！我正在使用等离子清洁器。使用氩气是否有害？您可以从大气压等离子体的三种效果模式中进行选择。一种是使用氩气/氧气组合，主要用于非金属材料，对处理效果要求较高。第二种是主要在待处理产品的不可处理金属区域使用氩/氮组合。由于氧气的强氧化作用，控制了用这种方案代替氮气后可能会出现这个问题。
氩气等离子体清洁设备
二是采用氩气/氮气组合，氩气等离子体清洁机器主要用于金线、铜线等各种金属材料。氧气的氧化使该方案在交换氮气后有效地控制了这个问题。第三，如果只用氩气，也可以只用氩气进行表面改性，效果相对较弱。这是一种特殊情况，是少数工业客户在需要有限且均匀的表面改性时使用的解决方案。 2. 安全易用。大气压等离子体也是低温等离子体，不会损伤材料表面。例如，它可以处理对反面电阻敏感的 ITOFILM 材料。
等离子体清洁原理
