随着微电子技术的发展，金属表面喷砂处理等离子体清洗的优势越来越明显。介绍了等离子体清洗的特点和应用，讨论了其清洗原理和优化设计方法。然后分析了等离子体清洗工艺的关键技术和解决方案。等离子体清洗的特点是无论被处理对象的衬底类型如何，都可以进行处理，还可以很好地处理金属、半导体、氧化物、有机材料和大多数高分子材料，只需要很低的气体流量，可以实现整体、局部和复杂结构的清洗。
等离子体处理器表面处理所用的工艺气体有氧气、氩气、氮气、压缩空气氢气、四氟化碳等，金属表面喷砂处理常用的有氧气、氢气和氮气。等离子体处理器技术选择的气体就是这三种工艺气体。我们应该注意些什么？怎么选？1.所选气体为氧气：氧主要用于高分子材料的表面活化和有机污染物的去除，但不能用于金属表面的易氧化。
实施例1:O2+e&Rarr；2O*+E-O*+有机物&RARR；CO2+H2O从反应公式中可以看出，金属表面喷砂处理氧等离子体可以通过化学反应将非挥发性有机物转变为挥发性的H2O和CO2。实施例2:H2+e&Rarr；2H*+E-H*+非挥发性金属氧化物；RARR；金属+H2O从反应公式可以看出，氢等离子体可以通过化学反应去除金属表面的氧化层，清洁金属表面。
真空等离子体处理设备的特点具有稳定、性价比高、操作简单、使用成本极低、易于维护等特点。对金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等各种几何形状、不同外表面粗糙度的物体外表面进行超清洗改性，金属表面涂层处理去除物体外表面有机污染物，定期快速处理，清洗效率高，绿色环保，不使用化学溶剂，对物体和环境无二次污染，常温超级清洗，对物体无损处理。
金属表面涂层处理
一种是利用各种表面改性技术产生新的表面活性层，从而改变表面和界面的基本特性。另一种方法是利用功能膜或表面成型技术对原表面进行涂覆。两者的目的都是使材料具有多种表面性质或同时具有。因此，开发了许多可用的表面处理技术。如化学湿法、电子束或紫外干法、表面活性剂添加剂、真空蒸金属化等。而干法处理技术采用等离子表面处理设备。它不仅可以改变表面结构，控制界面的物理特性，还可以根据需要涂膜。
第五步：等待等离子清洗机完成清洗时间和泄压，打开腔门，用镊子取出清洗后的金属材料样品，放在白纸上。第六步：用移液枪将几滴蒸馏水逐渐滴到清洗后的重油渍金属材料上，仔细观察水滴的形状和扩散情况。然后与测试结果对比，清洗前滴在金属表面的水滴呈圆形，形成一滴90度接触角的水滴，清洗前金属材料是疏水性的。
抛光后的靶材表面通常涂有涂层（也叫牺牲层，通常是有机黑漆、胶带或铅、锌、铝等薄金属箔）。利用较高的峰值功率密度，将短脉冲光束通过聚焦透镜聚焦成毫米级光斑，再通过透明约束层（通常是水或玻璃）照射到镀膜表面。涂层充分吸收高能能量，在极短时间内爆炸性汽化。蒸气继续吸收能量产生高压等离子体层，其向外弹射受到约束层的约束，爆炸产生高压冲击波，从而产生从靶面向内传播的强应力波。
经过等离子表面处理后，不仅可以增强对胶水的适用性，还可以不依赖专用胶水实现高质量粘接。而且，提高了表面的铺展性能，防止了气泡等的产生。最重要的是，经过常压等离子体处理后，纸箱生产企业可以得到成本更低、效率更高的高档产品。表面清洗活化及涂层等离子体处理技术大气等离子体处理是最有效的表面清洁、活化和涂层工艺之一，可用于处理各种材料，包括塑料、金属或玻璃。
金属表面涂层处理
2.适应性广：不管要处理的基板类型，金属表面的漆怎么除掉都可以处理，如玻璃、金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料。3.低温：接近常温，不会破坏玻璃表面原有特性。4.成本低：装置简单，操作维护方便，可连续运行。5.处理后的玻璃形状不限：大的或小的，简单的或复杂的，都可以处理。
