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据调查数据显示,2008年全球等离子表面处理设备总产值达到3000亿元。但是,我们必须考虑为什么等离子表面处理技术在短短 20 年内发展如此迅速。 (一)等离子表面处理技术原理及应用等离子,即第四种物质的状态,是由被剥夺了部分电子的原子和原子电离后产生的正负电子所组成,是一种电离的气态物质。这种电离气体由原子、分子、原子团、离子和电子组成。
目前,等离子清洗系统降低反应室内的压力,然后引入适当的气体并开始以特定速率供电以获得等离子体。那么真空等离子清洗设备为什么效果这么差呢?一起来分析一下。 1、电极对真空等离子清洗设备清洗效果的影响:电极的设计直接影响真空等离子清洗设备的清洗效果,主要是电极的材质、布局和尺寸。
它粘附在电极板的空隙和空腔壁上。清洁方法:连续使用一定时间后,用蘸有酒精的干净布(纸)清洁所有电极板和型腔壁,保持型腔壁清洁。 (2)工作人员在工作中利用观察窗观察真空等离子表面处理机腔内的放电情况。使用气体蚀刻后,观察窗表面被微蚀刻,观察窗模糊。清洁方法:清洁玻璃时,请使用含有酒精或丙酮的干净布(纸)。。小型石英等离子清洗机的安装和操作步骤如下。
观察窗用于工作人员在工作时观察腔内的排出情况。使用一段时间后,观察窗表面会有轻微的侵蚀,使其模糊不清。处理方法:用干净的布(纸)蘸酒精或丙酮清洗玻璃或直接更换真空玻璃。3、真空泵中使用的油为防止油氧化,及时更换有利于真空泵的正常工作,延长泵体的使用寿命,建议每三个月更换一次,应经常观察真空泵中油是否充足,若油位计指示的油位低于截止使用(明确标示)时,应及时向正常油量注入新油。
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这种放电反应器的主体结构是密实的陶瓷(陶瓷管或陶瓷板),丙酮是亲水性吗在陶瓷内埋设金属板作为接地极。另一侧是反应器的散热面。在中高频电压的作用下,放电从放电电极沿陶瓷表面延伸,在陶瓷表面形成许多细小的流动通道。对苯、丙酮、氟氯烃等废气的处理结果表明,处理效果良好,适用于CHCL3、CFC-113等难降解有机物。但与其他放电方式相比,表面放电的功耗较大。对于甲苯,当去除率达到85%时,反应器能耗约为400Wh/m3。