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污染物会经过引入单薄的中间层而大大降低粘合质量。此外,它们一般的低潮湿性导致粘合剂不完全覆盖外表,进一步降低了粘合强度。等离子清洗优势运用等离子处理工艺,将污染物分解为蒸汽,因此外表上不会留下任何残留物,使后者处于超精密清洁状况。Z重要的是,等离子清洗工艺在大气压下作业。
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缺点是可能会在其他不希望的区域发生过度腐蚀或污染颗粒的重新积累,但可以通过微调工艺参数来控制这些缺点。.. 1.3同时进行物理和化学反应的清洗其中物理和化学反应都在反应中起重要作用的清洗。例如,当在线等离子清洗工艺中使用 Ar 和 O2 的混合气体时,反应速度比单独使用 Ar 或 O2 更快。氩离子加速后产生的动能可以提高氧离子的反应能力,使污染严重的材料表面被物理和化学去除。
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