放电气压可以在小于1Pa到数倍大气压（105Pa）之间。等离子体发生器常常运用交变电源驱动放电，漆膜附着力高低温交变其频率规模在1 MHz到200 MHz之间。这个频率规模归于射频波段，射频波段是特别有意义的。关于低频端的射频放电，除了重离子外，等离子体中的其它各种粒子的运动均可以跟上射频电磁场的改变；而关于高频端的射频放电，等离子体中只要电子可以呼应射频电磁场的改变，离子因为惯性较大，只能呼应时间均匀的电场。
等离子体清洗设备的原理是在真空的条件下，漆膜附着力提升方法压力越来越小，分子之间的间距越来越大，分子间的力越来越小，利用高压交变电场产生的射频(rf)功率来输送氧气、氩气、氢气湍流化成具有高反应活性和高能量的离子，然后与有机污染物和微颗粒污染形成挥发性物质或碰撞，这些挥发性物质再通过工作气流和真空泵去除，实现清洁表面活化。
等离子体处理原理:以一组电极在射频电源上，漆膜附着力高低温交变形成高频交变电场，在交变电场的发酵下，电极间形成气体区域，形成等离子体，而等离子体的活性则是对表面进行物理轰击和化学反应的双重作用，使表面被清洗的物质变成颗粒和气态物质，经过真空放电，从而达到表面处理的目的。等离子体技术的应用:通过等离子体轰击物体表面，可达到对物体表面进行刻蚀、活化和清洗的目的。
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2. 等离子体是由电子、离子、自由基、激发态分子和原子、基态分子和光子等组成，表面上看呈电中性，其实内部具有很强的电特性、化学特性和热效应。
由于等离子清洗工艺需要进行真空处理，而一般对于在线进行在线或批量生产，所以当等离子清洗装置用于生产线的引进时，必须考虑到正在清洗的工件的储存和转移，特别是当被加工的工件尺寸较大时，对这个问题应该给予更多的考虑。
除了气体分子、离子和电子之外，等离子体还包含被能量激发态激发的带中性原子或原子团，这些能量激发态是自由基和从等离子体发射的光。等离子体在等离子体与物体表面的相互作用中起着重要作用。自由基，例如自由基，与表面反应。离子中的自由基具有很强的电学性质，比离子存在的时间更长。在等离子体中，自由基是高度挥发性的，它们的功能主要是在化学反应过程中激活（化学）能量转移。
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