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通过复卷机制备石墨膜/金属复合散热片，山西rtr型真空等离子清洗设备由于该方法使用的金属板材较厚，且中间导热胶粘层的热性能差，严重影响了散热性能。由于石墨膜表面光滑且具有很强的疏水性，导致石墨膜与金属薄膜之间的界面性能很差，石墨膜与金属薄膜之间的结合力非常弱。因此，如何提升石墨膜的亲水性是增强石墨膜与金属镀层之间结合力的关键问题。石墨膜经等离子体处理后，表面被刻蚀并且引入含氧极性基团，等离子体处理显著提高了石墨膜表面的亲水性。
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物理反应原则是活性颗粒轰击待除污面上，使污染物脱离面上，然后被真空泵吸走；化合反应原则是各种活性颗粒和污染物作用带来挥发性物质，然后由真空泵吸走挥发性物质。 等离子体处理设备主要是物理反应，也称为溅射腐化(SPE)或离子铣削(IM)。
新的工艺、新的材料不断出現，加工技术也会越来越复杂。近几年，随着热塑性弹性体技术的不断发展和成熟，新型材料，如TPO、TPV等热塑性弹性体已广泛应用于汽车密封胶条。这类材料兼有弹性体和塑料两大优点，既便于加工，又可回收再利用，正逐渐取代EPDM产品。门上常用的密封条是由共挤压的实心载体和海绵胶管密封条组成，海绵部受汽车门框的压缩后具有密封性效用。
利用氧等离子体表面处理，使PDMS与带有钝化层的硅片在室温常压下可以成功键合。在利用氧等离子体改性处理实现PDMS与其它基片键合的技术中，一般认为，在进行氧等离子体表面改性后，应立即将PDMS基片与盖片贴合，否则PDMS表面将很快恢复疏水性，从而导致键合失效，因此可操作工艺时间较短，一般为1～10min。
特殊的低温等离子处理器工艺是plasam溅射和腐蚀引起的物理化学变化。 在低温等离子处理器处理过程中，高能离子脉冲在低温处理过程中产生表层原子位移，在一定条件下会引起次表层原子的移动，所以物理溅射不具有选择性。在化学腐蚀的过程中，等离子体中的活力基团和表层原子发生反应，这些大分子会发生反应，并用泵将其抽出。
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