1、kh-58附着力（附着力促进剂kh-560） 综上所述40KHz中频等离子清洗机的作用主要为物理撞击反应，附着力促进剂kh-560其撞击力度大，对被清洗表面影响最大；13.56MHz射频等离子清洗机主要为物理加化学反应（需要采用氧气、氢气、氩气等气体，如采用单独氩气则为单独物理反应），其撞击力度适中，可以去除零件表面残留的灰尘、一般氧化层等杂质...
2、电晕达因值标准（电晕达因值的检验方法）pp电晕达因值52-58 低温等离子体主要是由气体放电产生的,根据放电产生的机理，电晕达因值标准气体的压强范围、电源性质以及电极的形状，气体放电等离子体主要分为以下几种形式：电晕放电、辉光放电、介质阻挡放电、弧光放电、微波放电等。（1）电晕放电：在曲率半径很小的尖端电极附近，由于局部电场强度超过气体的电离场强，使气体发生电离...
3、458附着力促进剂（纪研458附着力促进剂） 以当今最先进的技术，纪研458附着力促进剂很难满足整个工艺的参数要求。此外，由于同时清洗多个晶圆，自动化清洗站无法避免相互污染的弊端。洗涤器还采用旋转喷雾的方法可用于适合用去离子水清洗的工艺，如晶圆切割、晶圆减薄、晶圆抛光、研磨和CVD，尤其是抛光后的晶圆清洗。单片清洗设备和自动清洗台的应用没有太大...
