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在许多工作中,PFC蚀刻设备CFC 用于从材料中去除碳氢油、油脂和其他污染物,而不会造成损坏或残留。然而,一些氯氟烃会吸收大气中的紫外线,然后分解,释放出氟原子,破坏地球大气中的臭氧层,保护地球免受太阳紫外线的伤害。另一种清洁剂全氟化碳 (PFC) 可以在平流层中保留 5,000 年。由于它们的长寿命和低振动模式能量,这些气体比二氧化碳对全球变暖的贡献更大。

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