德国Diener Electronic是等离子体技术领域的创新公司,是低压等离子体系统、等离子体高频发生器和大气等离子体生产的国际领先者。他们的技术成熟和巨大成功保证了持续的全球扩张。
迄今为止,全球已有10000多套Diener等离子系统!
Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz、80KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用技术的2.45GHz的等离子清洗机。
目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的产品,以保证性能技术稳定。
德国diener等离子清洗机特点:
等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。
对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求
等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
射频功率无极连续可调。
高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率化,同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。
特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全。
设备整体模块化设计,安装与维护极为简单。
德国diener等离子清洗机系列:
Diener等离子清洗机主要技术参数:
1.全自动PCCE控制系统,可存储50套程序。
2.根据工艺要求不同,可设定真空泵启动与停止、发生器的功率、反应腔体压强、气体流量与时间等参数
3.双路工作气体,MFC质量流量计
4.反应舱为方形铝制腔体w: 150 mm, h: 160...