1、膜层附着力大于1kg（物理气相沉积中膜层附着力） 由于大型等离子清洗机蚀刻后的金属硬掩膜图形将作为沟槽蚀刻的掩膜层使用，物理气相沉积中膜层附着力金属硬掩膜层蚀刻后的图形完整度、关键尺寸都将被再次传递到(超)低介电常数材料，经过沟槽蚀刻形成金属连线。金属硬掩膜层蚀刻后图形对于设计图形传递的保真度、蚀刻后关键尺寸偏差的负载效应，都将被后续的沟槽蚀刻传承...
