近年来，OLED已成为国内外十分热门的新兴平板显示产品，这是由于OLED显示器件具有自发光、广色域、广视角、短反应时间，而且发光效率高、工作电压低、面板薄(厚度可小于1mm，此外可制作大尺寸与可烧曲面板并且制作简单等的特点，而且它的低成本具有有很大潜力,被誉为世纪的明星平板显示产品，与其它显示技术相比与有明显的优势。随着各种技术的突破，与加工工艺的成熟，会迎来突飞猛进的发展。
在目前OLED显示器件生产工艺中等离子清洗机主要用于生产工艺线上有机沾污的清洗处理。
等离子清洗原理：
等离子体与材料表面的相互作用能够产生三种基本的现象：加热、溅射和刻烛。基于这三种现象，材料器件表面的沾污才能够被去掉，并且会在表面产生具有活化性质的悬挂键，来提高表面活性。加热主要是由电子、离子对材料表面轰击以及等离子体辖照所引起的，加热效应可以去除物理吸附或者是松散的沾污。物理性溅射是最常见的一种清洗手段。表面所有原子都有可能被去除，溅射过程中并不具有选择性，清洗时会有可能伴随着表面材料原子的去除，又或者清洗结束时还残留着有机分子。溅射率取决于材料表面性质和污染物类型。刻烛清洗是原子或者自由基与表面沾污分子发生化学反应的过程，其反应产物通常具有一定的挥发性，很容易从材料的表面解离。
通常情况下用来去除有机沾污的等离子气体主要由O2、Ar和等。其中Ar等离子体清洗方式主要以表面物理溅射为主。Ar离子在电场中获得足够的能量去轰击表面，以去除表面分子和原子，使得污染物从表面去除，改善表面的粘附功，同时也会改变表面粗糖度。由于Ar是惰性气体，不与材料表面发生反应，能够处理一些易于被氧化的物质的表面。但也存在会对表面有比较大的损伤和热效应。
O2等离子和H2等离子都具有活拔的化学性质，是等离子...
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