当等离子体能量密度为860kJ/mol 时，四氟化碳对晶圆制造和pcb线路板结合等离子蚀刻机的应用C2H6转化率为23.2%，C2H4和C2H2收率之和为11.6%。一般认为在流动式等离子体反应器中，当反应气体流速一定时，体系中高能电子密度及其平均能量主要决定于等离子体能量密度。
一、设备结构等离子清洗机按照应用的环境不同，等离子蚀刻 pdms会有不一样的类型，有一些较为的精密与复杂，以真空型低温等离子表面处理机为例，其设备结构通常包括等离子发生系统、排气系统、温控系统、气路控制系统、冷却系统、电气控制系统、真空发生系统、钣金件等很多部分。UVLED表面处理设备通常是由UV固化机、通风系统、光源系统、传送系统和箱体五个部分组成，采取不同的材料和部件通常也会有不同的处理效果。
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