可根据要求提供其他选项。 % 0。低压等离子清洗机系列低压等离子技术通过在真空中获得能量来激发气体。等离子体由高能离子、高能电子和其他反应粒子组成。综上所述，低压等离子清洗可以有效地改变材料的表面。等离子效应可分为三类：一次微喷砂：材料表面被离子冲击耗尽两种化学反应：材料表面与电离气体发生化学反应三紫外线：紫外线分解长链碳化合物不同配置的常压真空完美满足不同客户的需求。
..粘合强度一直是行业研究的问题。射频驱动的低压等离子清洗技术是一种有效且低成本的清洗方法，低压等离子清洗可以有效去除可能存在于基板表面的污染物。氟化物、氢氧化镍、有机溶剂残留、环氧树脂溢出、材料氧化层、等离子清洗、后续键合等，大大提高键合强度和键合拉线均匀性，提高键合强度。在引线键合之前，气体等离子技术可用于清洁芯片触点，以提高键合强度和良率。表 3 显示了一个改进的抗拉强度比较的例子。
等离子清洗机制造生产设备可做低压规格（1-Pa）或常压规格，n2/o2低压等离子处理装置低压等离子清洗机处理的实际效果更均匀，操作更灵活。..。纯乙烷在低温常压下等离子等离子作用下可发生脱氢反应。表 3-1 显示了一些 CC 和 CH 化学键的解离能。在大气压脉冲电晕等离子体条件下，C2H6的转化率和C2H2的产率随着能量密度的增加不断增加，C2H4的产率略有增加，CH4的产率随着等离子体能量密度的增加而增加，变化不大。
