1.激活和蚀刻材料表面或非常薄的表面层； 2.首先将处理过的表面活化，物理气相沉积附着力引入活性基团，然后基本上为此采用接枝法，在原有表面上形成许多分支，形成新的表面层； 3、使用气相聚合物在处理过的表面上沉积形成薄膜。等离子在材料表面产生溅射、蚀刻、腐蚀、解吸和蒸发等过程，一些粒子被注入到材料基体表面并发生碰撞、散射、激发、振动、重排等过程，造成异构化、缺陷、损伤、结晶和非晶化等。
使用大气等离子清洗机化学气相沉积金钢石膜，物理气相沉积附着力首要要了解金钢石的成核过程，通常将其分为两个阶段：含碳量官能团抵达基材表层，然后分散到基材内部；第二阶段是抵达基材表层的碳原子在基材表层上以缺陷、金钢石子晶等为中心的成核、生长；因而，决定钻石形核的要素包括：1.基材信息：由于形核取决于基材表层碳的饱和度和抵达核心的临界浓度，因而，基材信息的碳分散系数对形核有着重要影响。
该化学过程依赖于产生气相辐射的等离子与基片表面进行化学反应，物理气相沉积附着力从而产生高压。采用高工艺压力进行化学反应的等离子工艺，是由于需要高度集中于基片表面的活性反应成分。压力越大，化学工艺清洗速度越快。动力：等粒子动力增加了离子在等离子体中的密度和离子能量，从而提高了清洁速度。离子性密度是单位体积内活性反应的成分数。提高离子密度可以提高清洗速度，因为活性反应组分浓度较高。离子能决定了活性反应的成分进行物理操作的能力。
当以这种方式产生的电子被电场加速时，低压化学气相沉积附着力它们获得高能量并与周围的分子或原子碰撞。结果，分子和原子中的电子被激发，它们本身变成激发态或离子态。此时，物质存在的状态是等离子体状态。在辉光放电的情况下，在高频电场下处于低压状态的氧气、氮气、甲烷和水蒸气等气体分子被加速分解为原子和分子，产生电子和解离。...
