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随着集成电路中晶体管尺寸的逐渐减小，保定等离子清洗机设备厂家单位面积集成电路中晶体管的数量呈指数增长，互连线的长度和芯片中的层数不断增加，导致。互连将增加。选择合适的互连材料及其制备技术以减少互连延迟是半导体领域需要解决的问题。如今，用铜互连代替传统的铝互连已成为互连技术的主流。与金属铝青铜相比，它具有更低的电阻，更好的防电迁移性能，并能提供更大的电流容量。目前，大马士革工艺正在准备铜互连。
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