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例如:H2+ E-→2H※+ E- h※+非挥发性金属氧化物→金属+ h2o2从反应公式可以看出,在PE上附着力好的树脂氢等离子体可以通过化学反应去除金属表面的氧化层,清洁金属表面。物理清洗:表面反应物理反应型等离子体清洗,又称溅射腐蚀(SPE)。例如:Ar+ E -→Ar++ 2E -Ar++污染→挥发性污染Ar+在自偏压或外部偏压的作用下加速产生动能,然后狂轰滥炸,清洗工件表面。

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