简单来说，附着力有方向吗如开篇所述，等离子清洗需要在真空中进行（通常应该保持在 PA左右），所以需要真空泵来产生真空。主要流程如下。首先将待清洗的工件送入真空室进行固定，抽真空泵等设备抽真空至10帕左右的真空度，引入等离子清洗气体。将其置于真空室中（所选择的气体，如氧气、氢气、氩气、氮气等，取决于清洗剂），压力保持在 帕左右，在它们之间施加高频电压.真空室中的电极和接地装置分解气体并使其通过辉光。
如此产生的电离气体叫做气体放电等离子体。大气等离子清洗机按所加电场的频率不同，附着力有方向吗气体放电可以分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等多种类型。直流（DC）放电因其简单易行，特别是对于工业大气等离子清洗机装置来说可以施加很大的功率至今仍被采用。低频放电的范围一般是1- kHz，现在装置常用的频率为40kHz。
等离子体蚀刻对PID的影响:等离子体诱导损伤(Plasmae Induced Damage, PID)是指在IC制造过程中，附着力有方向吗各种等离子体工艺引起的MOSFET性能偏差。在等离子体环境中，放电产生大量的离子和电子，离子由于电极电位或等离子体自偏置而加速向晶圆表面移动，对衬底进行物理轰击，促进表面的化学反应。
