1、中频电源、射频电源和微波电源的区别 等离子清洗机的电源可以按频率分为中频电源、射频电源和微波电源,在等离子处理中各自具有独特的特点和应用领域。1、中频等离子清洗机:由于中频电源直接输出到电极板的电压较高,其自偏压也较高,产生的负自偏压就会引起正离子的功率吸收,从而直接引起电极板的温度升高。同时由于在这个过程中离子会吸收部分的功率,因此...
2、增加镀层附着力(射频能增加镀层附着力吗)如何增加镀层附着力 通过在真空室中用氧气(O2)进行清洗,增加镀层附着力可以有效去除光刻胶等有机污染物。氧气 (O2) 引入更常用于精密芯片键合、光源清洁和其他工艺。一些氧化物很难去除,但在非常密闭的真空中使用时可以用氢气 (H2) 清洁它们。还有四氟化碳(CF4)和六氟化硫(SF6)等特殊气体,可以增加蚀刻和去除有机...
3、同轴电缆附着力检测(射频同轴电缆附着力) 介质阻塞放电有平行板型和同轴圆柱型两种典型的电极结构,射频同轴电缆附着力如图1.1所示。在具体应用中,介质阻塞放电的电极结构可以根据实际需求进行具体规划,例如为了发明一种适用于平面外观、网状和纤维状外观的等离子消毒设备,美国学者罗斯等。结合生物消毒和等离子体产生的特点,选择梳状电极结构,使用1-50...