在氧分子和电子的混合等离子体中，油墨有附着力原理游离氧原子具有很强的氧化能力（约10-20%），在高频电压下与晶圆感光膜发生反应：O2&RARR；O*+O*,CXHY+O* & RARR; CO2 & UARR; + H2O & UARR ;.反应后立即回收合成的 CO2 和 H2O。表面等离子加工设备等离子脱胶的优点是脱胶操作方便、脱胶效率高、表面清洁光滑、无划痕、成本低、环保。
& EMSP; & EMSP; 不同气体的等离子体具有不同的化学性质。例如，油墨有附着力原理氧等离子体具有很强的氧化性，通过氧化感光反应产生气体，达到清洁效果。腐蚀性气体具有高度氧化性，并具有良好的各向异性以满足蚀刻需要。等离子处理之所以称为辉光放电处理，是因为它会发出辉光。 & EMSP; & EMSP; 等离子清洗机构达到去除物体表面污垢的目的，主要依靠等离子中活性粒子的“活化”。
比如氧等离子体具有很强的氧化性，油墨有附着力原理通过氧化感光反应产生气体，具有清洗作用；腐蚀；气态气体等离子体具有良好的各向异性，可以满足蚀刻需要。我有。等离子处理之所以称为辉光放电处理，是因为它会发出辉光。等离子体清洁机制主要依靠等离子体中活性粒子的“活化”来达到去除物体表面污垢的目的。从反应机理来看，等离子清洗通常涉及以下几个过程。
等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，油墨有附着力原理从而实现清洁、涂覆等目的。 等离子清洗机清洗原理： 等离子体是物质...
