在通用工业、半导体、微电子、医疗行业,无锡微波等离子联系方式需要清洁、涂覆或化学改性的材料表面被浸入到射频等离子体的能量环境中,除了40KHz射频等离子体的强烈的化学作用外,其携带动量的粒子到达材料表面后可以物理地去除更加化学惰性的表面沉淀物(如金属氧化物和其它无机物沉淀)以及交联聚合物以达到清洁、活化目的。。
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等离子表面处理机等离子清洗机台阶蚀刻的目标材料为SiO2和 Si3N4的堆叠结构,无锡微波等离子每个台阶蚀刻停止在下层 SiO2表面。台阶延展结构则由掩膜层(一般为光阻)缩减丁艺形成,缩减尺寸通过SiO2/Si3N4蚀刻过程传递到目标材料商。该蚀刻工艺为循环蚀刻工艺。通常使用等离子清洗机感应耦合等离子蚀刻(ICP)机型完成此工艺。
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