一些不聚合的无机汽体(Ar2.N2.H2、02等。)在高频低电压下被刺激，树脂磷化底漆的附着力产生许多活性粒子，如离子、刺激态和氧自由基。通常在等离子体清洁机中，活化汽体可以划分为两大类:一种是稀有气体的等离子体(如Ar2、N2等)；另一种是反应性气体的等离子体(如02、H2等)。
典型的工业清洗包括清洗汽车、轮船和飞机的表面，磷化底漆 附着力通常只需要去除粗糙、不光滑的污渍。特点是可以去除细小的污垢颗粒。超精密清洗包括超精密清洗。精密工业生产中机械零件、电子零件、光学零件的精密清洗，细小颗粒的轻松清洗。除清洗精度外，根据清洗方法的不同，清洗还可分为物理处理和化学处理。利用力学、声学、电光、热等原理，借助机械设备摩擦、超声波、气动、高压冲击、紫外线、负压等外界动能，对其进行物理清洗。
三、引线键合引线键合如果没有处理好，树脂磷化底漆的附着力也就意味着半导体报废，等离子清洗机就是在引线键合前对键合区进行有效的处理，清洗掉肉眼看不到的污染物，提高其表面的粘接性，提高引线键合的可靠性。四、倒装芯片封装用等离子体清洗处理芯片及封装载板，可以大大提高表面的焊接性，提高封装的质量，同时也提高产品的寿命。
当尺寸大、处理量大时，磷化底漆附着力不好尤其是工作量大时，应考虑到这个问题。真空等离子表面处理设备清...
