1、氢、氮、氧、氩和氦气体在等离子清洗中的作用及气体选配 等离子清洗简称干法清洗，是设备利用射频等离子源的激发，使工艺气体激发成为离子态，期间会产生多种活性组分，一部分活性粒子轰击在被清洗表面进行物理清洗，另一部分活性粒子与被清洗表面接触发生复杂的理化反应，通过真空泵将反应产生的污染物排走，达到清洗效果。通过等离子清洗可以有效清除被清洗表面污染物与清洗材质...
