在半导体器件的制造过程中，江苏等离子体表面改性设备单晶硅芯片表面存在各种颗粒、金属离子、有机物、残留物等。半导体单晶硅片在制造过程中需要经过多次表面清洗步骤，以避免严重的结垢影响和对芯片加工性能的缺陷，而等离子清洗机是单晶硅片光刻技术。单晶硅片的清洗一般分为湿法清洗和干法清洗。等离子清洗机属于干法清洗，是清洗单晶硅片的主要方法之一。等离子清洗剂主要用于去除单晶硅片表面肉眼看不见的表面污渍。
等离子辅助加工用于生产具有特殊和优良性能的新材料，表面改性与表面处理开发新的化学品和化学工艺，材料及其表面的加工、变形和净化，对薄膜沉积、等离子聚合非常有用等。用于广泛的工业应用。
等离子清洗机实际上是一个表面处理系统，表面改性与表面处理配置的兼容性非常重要。要想稳定工作，每一个部件的运行都不能出一点差错。尤其是对UPH要求较高的工厂，一旦出现故障不能及时排除，损失会非常大！今天，我们根据多年的研发、生产、维修经验，整理出真空等离子清洗机常见故障报警及处理方法。1.等离子清洗机真空泵热过载保护，请检查电路及真空泵故障（1）如果出现这种情况，请先观察系统参数设置是否发生变化。
国内主要从事氮化镓外延片的生产企业有三安光电股份有限公司、赛微电子股份有限公司、海陆重工股份有限公司、晶展半导体股份有限公司、江苏能华股份有限公司、...
